光罩及圖案光學元件
Qz/Sodalime Cr mask and FMM (Mask grade specifications):
- (1) 4-6" Qz Mask CD=2.0+/-0.1um.
- (2) >=7" Soda/Qz CD 3+/-0.3um
- (3) >20"x24" Soda CD 10+/-0.5, total pitch <= +/-2.5um
- (4) defect depends grades and CVD repair。
- (5) Max size: 700x800mmx(4.8t~8t)
圖案化光學元件、測試光罩
- 各式解析度測試光學尺
- 影像面像散評估光罩
- 影像景深測試光學尺
圖案設計到光罩製作，可按客戶需求遠超過現有外國商社的品質和價格。