玻璃晶圓及基板

各種光學玻璃材料 

配合應用需求,可提供各種熱脹係數(CTE, coefficient of thermal expansion)及穿透率光學玻璃材料及厚度: 無鹼玻璃、青板玻璃、硼玻璃BF33、B270、D263、硼鋁化強玻璃等等。 

CNC成型加工: 12" (300mm)晶圓,含notch and edge grinding
CNC成型加工: 12" (300mm)晶圓,含notch and edge grinding
鏡面拋光
鏡面拋光
超平板基板減薄加工
超平板基板減薄加工
雷刻: 玻璃拋光及清洗後刻號
雷刻: 玻璃拋光及清洗後刻號

平度量測(flatness measurement)

使用單色干涉儀測量透鏡拋光面平整度,精度達0.3um。

雷射干涉儀

使用雷射干涉儀測量玻璃平行度(TTV total thickness variation or GTIR),精度達1um。 同時測量晶片翹曲度(warpage and bow)。

缺陷目檢

使用不同強度光源目檢刮傷及點缺陷,可檢測出>1um缺點。